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FESTO傳感器靜態(tài)特性
FESTO傳感器的靜態(tài)特性是指對靜態(tài)的輸入信號,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關(guān),所以它們之間的關(guān)系,即傳感器的靜態(tài)特性可用個不含時間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標,把與其對應(yīng)的輸出量作縱坐標而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、遲滯、重復性、漂移等。
(1)FESTO傳感器線性度:指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比。
(2)FESTO傳感器靈敏度:靈敏度是傳感器靜態(tài)特性的個重要指標。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
(3)FESTO傳感器遲滯:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對于同大小的輸入信號,傳感器的正反行程輸出信號大小不相等,這個差值稱為遲滯差值。
(4)FESTO傳感器重復性:重復性是指傳感器在輸入量按同方向作全量程連續(xù)多次變化時,所得特性曲線不致的程度。
(5)FESTO傳感器漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量隨著時間變化,次現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個方面:是傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等)。
FESTO傳感器的分類
FESTO傳感器可以用不同的觀點對傳感器進行分類:它們的轉(zhuǎn)換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應(yīng));它們的用途;它們的輸出信號類型以及制作它們的材料和工藝等。
FESTO傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學傳感器二大類 :
FESTO傳感器工作原理的分類物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測信號量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號。
FESTO傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器,被測信號量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號。
FESTO傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數(shù)傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運作的。化學傳感器技術(shù)問題較多,例如可靠性問題,規(guī)模的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學傳感器的應(yīng)用將會有巨大增長。
FESTO傳感器的應(yīng)用域和工作原理列于下表。
1.FESTO傳感器按照其用途,傳感器可分類為:
FESTO傳感器
FESTO傳感器液面?zhèn)鞲衅?能耗傳感器
FESTO傳感器速度傳感器 加速度傳感器
FESTO傳感器射線輻射傳感器 熱敏傳感器
2.FESTO傳感器按照其原理,傳感器可分類為:
FESTO傳感器振動傳感器 濕敏傳感器
FESTO傳感器磁敏傳感器 氣敏傳感器
FESTO傳感器真空度傳感器 生物傳感器等。
FESTO傳感器以其輸出信號為標準可將傳感器分為:
FESTO傳感器模擬傳感器——將被測量的非電學量轉(zhuǎn)換成模擬電信號。
FESTO傳感器數(shù)字傳感器——將被測量的非電學量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。
FESTO傳感器膺數(shù)字傳感器——將被測量的信號量轉(zhuǎn)換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。
FESTO傳感器開關(guān)傳感器——當個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應(yīng)地輸出個設(shè)定的低電平或高電平信號。
FESTO傳感器在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應(yīng)的、具有特征性的反應(yīng)。它們中的那些對外界作用zui敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點出發(fā)可將傳感器分成下列幾類:
(1)FESTO傳感器按照其所用材料的類別分
FESTO傳感器金屬 聚合物 陶瓷 混合物
(2)FESTO傳感器按材料的物理性質(zhì)分
FESTO傳感器導體 緣體 半導體 磁性材料
(3)FESTO傳感器按材料的晶體結(jié)構(gòu)分
FESTO傳感器單晶 多晶 非晶材料
FESTO傳感器與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開發(fā)工作,可以歸納為下述三個方向:
(1)FESTO傳感器在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng),然后使它們能在傳感器技術(shù)中得到實際使用。
(2)FESTO傳感器探索新的材料,應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)來改進傳感器技術(shù)。
(3)FESTO傳感器在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng),并在傳感器技術(shù)中加以具體實施。
FESTO傳感器制造業(yè)的進展取決于用于傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開發(fā)強度。傳感器開發(fā)的基本趨勢是和半導體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用密切關(guān)聯(lián)的。表1.2中給出了些可用于傳感器技術(shù)的、能夠轉(zhuǎn)換能量形式的材料。
FESTO傳感器按照其制造工藝,可以將傳感器區(qū)分為:
FESTO傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器
FESTO傳感器是用標準的硅基半導體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同芯片上。
FESTO傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。
FESTO傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。
FESTO傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)。
FESTO傳感器完成適當?shù)念A備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的種變型。
FESTO傳感器每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點和不足。由于研究、開發(fā)和所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
FESTO傳感器動態(tài)特性
FESTO傳感器所謂動態(tài)特性,是指傳感器在輸入變化時,它的輸出的特性。在實際工作中,傳感器的動態(tài)特性常用它對某些標準輸入信號的響應(yīng)來表示。這是因為傳感器對標準輸入信號的響應(yīng)容易用實驗方法求得,并且它對標準輸入信號的響應(yīng)與它對任意輸入信號的響應(yīng)之間存在定的關(guān)系,往往知道了前者就能推定后者。zui常用的標準輸入信號有階躍信號和正弦信號兩種,所以傳感器的動態(tài)特性也常用階躍響應(yīng)和頻率響應(yīng)來表示。
FESTO傳感器的線性度
FESTO傳感器通常情況下,傳感器的實際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù),常用條擬合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個近似程度的個指標。
FESTO傳感器擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為擬合直線;或?qū)⑴c特性曲線上各點偏差的平方和為zui小的理論直線作為擬合直線,此擬合直線稱為zui小二乘法擬合直線。
FESTO傳感器的靈敏度
FESTO傳感器在穩(wěn)態(tài)工作情況下輸出量變化△y對輸入量變化△x的比值。
FESTO傳感器它是輸出輸入特性曲線的斜率。如果傳感器的輸出和輸入之間顯線性關(guān)系,則靈敏度S是個常數(shù)。否則,它將隨輸入量的變化而變化。
FESTO傳感器靈敏度的量綱是輸出、輸入量的量綱之比。例如,某位移傳感器,在位移變化1mm時,輸出電壓變化為200mV,則其靈敏度應(yīng)表示為200mV/mm。
FESTO傳感器的輸出、輸入量的量綱相同時,靈敏度可理解為放大倍數(shù)。 提高靈敏度,可得到較高的測量精度。但靈敏度愈高,測量范圍愈窄,穩(wěn)定性也往往愈差。
FESTO傳感器的分辨力
FESTO傳感器可能感受到的被測量的zui小變化的能力。也就是說,如果輸入量從某非零值緩慢地變化。當輸入變化值未超過某數(shù)值時,傳感器的輸出不會發(fā)生變化,即傳感器對此輸入量的變化是分辨不出來的。只有當輸入量的變化超過分辨力時,其輸出才會發(fā)生變化。
FESTO傳感器在滿量程范圍內(nèi)各點的分辨力并不相同,因此常用滿量程中能使輸出量產(chǎn)生階躍變化的輸入量中的zui大變化值作為衡量分辨力的指標。上述指標若用滿量程的百分比表示,則稱為分辨率。分辨率與傳感器的穩(wěn)定性有負相相關(guān)性。
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